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Historisch gesehen wurden die ersten Dünnschichten im Nassverfahren durch eine chemische Reaktion hergestellt, die zur Ausfällung von Vorläufern aus einer Lösung auf einem Substrat führte.Heutzutage haben sich die Abscheidungsverfahren im Zuge der steigenden industriellen Nachfrage in verschiedenen Disziplinen - Mikroelektronik, Optik, Mechanik, biomedizinische Chemie usw. - stark weiterentwickelt und erfordern ständig den Einsatz neuer Materialien aller Art: Isolatoren, Halbleiter, Leiter, Supraleiter usw. sowie neuer Strukturen, die von Einzel- bis hin zu Mehrfachschichten reichen. Dieses Kapitel gibt daher einen Überblick über die Techniken zur Abscheidung von Dünnschichten. Zunächst werden die Schritte zur Bildung einer Dünnschicht sowie der Wachstumsmechanismus von Dünnschichten behandelt. Das Kapitel schließt mit den verschiedenen Anwendungsbereichen von Dünnschichten.
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