Free delivery for orders over 69.99 euro.

Check order status

Become part of a community of book lovers from all over the world and get access to a whole bunch of benefits. Create an account for free

Free delivery for purchases over 69.99 €

DPD courier 5.99 € Bpost point 7.99 € Bpost 7.49 € DPD point 3.49 € GLS courier 4.99 €

Contact

How to shop

Help

My account

▸ Empty :-(

Free delivery for orders over 69.99 euro.

Ätzen von Titannitrid mit Halogenverbindungen

Name: Ätzen von Titannitrid mit Halogenverbindungen
Brand: Books on Demand
SKU: 01798060
Price: 8.13 EUR
Availability: InStock
Author: Ronald Hellriegel
ISBN: 9783839106938

Kammerreinigung mit externer Plasmaquelle

Ronald Hellriegel

Language

German

Book Paperback

Libristo code: 01798060

Publishers Books on Demand, November 2008

Mit zunehmender Miniaturisierung mikroelektronischer Bauelemente steigen die Anforderungen an reprod... Full description

Libristo code: 01798060

20 b

8.13 €

In stock at our supplier Shipping in 8-11 days

Up to 30 days for returns

Customers also purchased

IMechE Engineers′ Databook App Clifford Matthews

Digital

12.34 €

Learning to Dream: Seduction of a Wanton Dreamer, Part I Richard Beeson

Paperback

10.53 €

Flavor For All Brooke Parkhurst

Hardback

27.31 €

Modernized Dutch Defense Demuth Adrien

Paperback

30.31 €

Liaigre PRODHON FRANCOISE-CL

Hardback

64.55 €

Historic Tales of Michigan Up North D. Laurence Rogers

Paperback

19.07 €

Art of the Dog Thomas Purcell

Paperback

15.65 €

Avatar: The Last Airbender - Team Avatar Tales Gene Luen Yang

Paperback

10.53 €

Fairies & Angels: A Greyscale Fairy Lane Coloring Book Barbara Lanza

Paperback

10.53 €

EPA's Vessel General Permits: Background and Issues: R42142 Congressional Research Service

Paperback

24.29 €

A View From The Side Of The Road Le Barrett

Paperback

23.89 €

BIG SUPRISE for YOU!!: Go Jump In the River; If YOU Don't Like It!! Rev Stephen Cortney Maxwell

Paperback

24.29 €

Chirurgie de l'Uterus, Du Vagin Et de la Vulve Richelot-L-G

Paperback

36.34 €

CANADIAN NORTHWEST AS IT IS TO James M. Cook

Hardback

30.31 €

The Marvellous Country Samuel Woodworth Cozzens

Paperback

36.24 €

Honduras: A Pariah State, or Innovative Solutions to Organized Crime Deserving U.S. Support? R. Evan Ellis

Paperback

24.00 €

Krita 2.9 Perfect Master: Learn All of the Tools to Create Your Next Masterpiece Scott L Petrovic

Paperback

44.07 €

Young ELI Readers - English Jack London

Paperback

15.96 €

Mamma Nastrino, papà Luna. Stampatello maiuscolo Emanuela Nava

Paperback

11.44 €

Dancing with Muddy PORTNOY JERRY

Paperback

16.06 €

Enzymes in Textile Processing: A Climate Changes Mitigation Approach Muhammad Arshad

Hardback

183.74 €

A Child's Geography of the World

Paperback

22.68 €

Veled is el?fordul ez? Furcsa egybeesések, el?érzetek, telepátia, prófétai álmok. Bruno Del Medico

Paperback

12.04 €

Comment attirer une rockstar dans son lit Dieter Moitzi

Paperback

17.06 €

Mit zunehmender Miniaturisierung mikroelektronischer Bauelemente steigen die Anforderungen an reproduzierbare qualititätskonforme Schichten. Um die zur herstellung notwendigen ALD/PVD/CVD-Schichtabscheideanlagen in einen zuverlässigen Zustand zu versetzen, ist eine regelmäßige Kammerreinigung notwendig.Im vorliegenden Buch wird am Beispiel der Remote Plasma Source (RPS)-Kammerreinigung von TiN-Abscheideanlagen ein systematischer Ansatz zur Untersuchung der relevanten Parameter vorgestellt. Mit den Meßmethoden QMS, FTIR, OES, XPS, Interferometrie werden die Besonderheiten von Fluor/Chlor-Interhalogenmischungen gezeigt und die zugrunde liegenden Mechanismen beschrieben. Eine effektive Methode zur TiN-Kammerreinigung bei niedrigen Temperaturen und niedrigen Drücken wird vorgeschlagen.Erstmalig wurde die Verwendung von molekularem Fluor mit RPS-Plasma als Kammerreinigungsgas untersucht und die Ätz-Effektivität mit der des NF3 verglichen. Die Anwendung von Fluor in Trägergas für Reinigungsprozesse in der Mikroelektronik oder Photovoltaik stellt sich vorteilhaft dar.